Невлюдов, И. Ш.2021-12-292021-12-292017Создание микроминиатюрных компонентов электромеханических интеллектуальных технологических средств промышленного оборудования и робототехники : отчет о НИР (заключ.) : 300 / Харков. нац. ун-т радиоэлектроники ; руководитель д-р техн. наук, проф. И. Ш. Невлюдов. – Харков, 2017. – 338 с.https://openarchive.nure.ua/handle/document/18839Объект исследования (разработки) - объектом исследования являются технологии компонентов микроэлектромеханических (МЭМС) и других микросистемных устройств для интеллектуального управления в робототехнике и интеллектуальных технологиях. Описание решаемой проблемы - предметом исследования являются интеллектуальные технологические средства в МЭМС и МОЕМС исполнении, теория влияния масштаба на основные электрофизические параметры компонентов и процессоров, применение теории подобия при создании МЭМС-компонентов, в частности с интеллектуальными свойствами и создание микроминиатюрные модульных компонентов ВЧ и СВЧ фильтров. Общей проблемой, на решение которой направлен проект, является создание компонентов и элементов системы управления манипуляционных и мобильных роботов технологий производства РЭА с интеллектуальными свойствами. Развитие современных технологий производства требует высокого уровня автоматизации и интеллектуализации процессов на всех этапах жизненного цикла продукции. Необходимой составляющей производства МЭМС и МОЕМС устройств, обеспечения данными о ходе и состоянии производственного процесса являются технологические средства промышленного оборудования и робототехники. Они обеспечивают и характеризуют режим обработки, состояние технологического оборудования и параметры качества предметов труда. Создание таких микроминиатюрные, в том числе и с интеллектуальными свойствами, технологических средств является насущной проблемой для модернизации и разработки прогрессивного технологического оборудования в различных отраслях промышленности и робототехники. Интеллектуализация и миниатюризация промышленного оборудования и роботов требует создания принципиально новых типов микроэлектромеханических и микрооптоелектромеханичних компонентов автоматизации контроля и управления производственными процессами.ruтуннельный сканирующий микроскопчувствительный элементэлектронная аппаратурарибонуклеиновая кислотапреобразователь физических величиноперативное запоминающее устройствомикроэлектронная аппаратураинтегральная микросхемадатчик угловой скоростивысокоактивные кислотыOther