Функендорф, А. О.Бортнікова, В. О.Груздо, І. В.Черепанова, Ю. Ю.2021-11-282021-11-282019Математична модель процесу отримання нерозємних з’єднань у конструкціях мемс методом ультразвукового зварювання / А. О. Функендорф, В. О. Бортнікова, І. В. Груздо, Ю. Ю. Черепанова // Бионика интеллекта : научно-технический журнал. – 2019. – № 2 (93). – С. 59–63.https://openarchive.nure.ua/handle/document/18429Запропоновано підхід до адаптації процесу отримання нероз’ємних з’єднань методом ультразвукового зварювання в рамках технології пакування МЕМС на рівні пластин. Представлено конструкційне рішення запропонованого підходу, а також математична модель процесу його.ukМЕМСультразвукове зварюванняwlp технологіяArticle