Оксанич, А. П.Притчин, С. Э.Седин, Е. А.2016-06-162016-06-162011Оксанич, А. П. Разработка методик и устройств контроля структурного совершенства кремниевых структур / А. П. Оксанич, С. Э. Притчин, Е. А. Седин // АСУ и приборы автоматики : всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Х. : Изд-во ХНУРЭ, 2011. – Вып. 155. – С. 29–33.http://openarchive.nure.ua/handle/document/981Предлагаются методики и устройства контроля структурного совершенства кремниевых эпитаксиальных структур. Показывается, что деформации структур, которые возникают в процессе шлифовки или вследствие значительных температурных градиентов, приводят к появлению внутренних напряжений и областей с высокой плотностью дислокаций. Предполагаемые авторами методы и устройства позволяют контролировать величину деформации КЭС и их зависимость от кристаллографических направлений. Делается вывод о том, что высокие температурные градиенты приводят к потери устойчивости КЭС и образованию у неё «антикластического» изгиба.ruкремниевые эпитаксиальные структурырасчет внутренних напряженийArticle