Проценко, М. А.2017-12-222017-12-222017Проценко, М. А. Технологія виробництва детекторних модулів радіаційного випромінювання : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 "Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки" / М. А. Проценко ; М-во освіти і науки України, Харків. нац. ун-т радіоелектроніки. – Харків, 2017. – 24 сhttp://openarchive.nure.ua/handle/document/4181У дисертаційній роботі представлено результати теоретичних та експериментальних досліджень нових технологічних процесів (ТП) виробництва детекторних модулів (ДМ) радіаційного випромінювання (РВ). Розроблено модель, з використанням якої встановлено аналітичні взаємозв'язки між структурними, топологічними і електрофізичними параметрами ДМ і гнучких з'єднувальних елементів (ГЗЕ) та досліджено залежності захисту ліній передач ДМ від конструктивних параметрів і технології виготовлення. Розроблено оптимальні конструктивно-технологічні рішення ГЗЕ згідно з критеріями мінімізації маси в робочому об'ємі детекторного блоку. Проведено теоретичні та експериментальні дослідження ТП виготовлення багатошарових ГЗЕ з урахуванням усадки матеріалу, похибки геометричних розмірів елементів, клина травлення алюмінію. Визначені оптимальні режими і обрані маршрутні схеми виготовлення ГЗЕ з кроком розташування провідників 50 мкм і менше. Удосконалено ТП УЗ зварювання ГЗЕ з безадгезивних алюміній-поліімідних фольгових діелектриків на автоматизованому обладнанні, що дозволило покращити відтворюваність з'єднань і підвищити продуктивність складання ДМ більш ніж у 10 разів. Експериментально досліджено параметри і характеристики реалізованих на практиці експериментальних зразків ДМ. In the thesis results of theoretical and experimental research of new technological processes (TP) of radiation detector modules (DM) production are given. Mathematical model is developed, using which one analytical correlations between the structural, topological and electrophysical parameters of DM and flexible connecting elements (FCE) are defined and dependencies of noise immunity of transmission lines of DM on design parameters and manufacture technology are investigated. Optimal design-technological solutions of FCE in accordance with the criteria of minimizing the material budget in fiducial volume are developed. Theoretical and experimental studies of the TP for manufacture of multilayered FCE, taking into account the shrinkage of the material, the errors of the elements geometrical sizes and aluminum wedge etched are performed. For manufacture of FCE with pitch of traces 50 um or less optimal regimes are defined and work flows are chosen. TP of ultrasonic welding of FCE made of adhesiveless aluminium-polyimide foiled dielectrics on automated equipment is improved that allows to improve reproducibility of connections and to improve DM assembly performance in more than 10 times. Parameters and characteristics of the implemented experimental DM are experimentally investigated.ukдетекторні модулі радіаційного випромінюваннягнучкі з'єднувальні елементиалюміній-поліімидні лакофольгові діелектрикивуглепластикові підкладкиCOF-технологія складанняультразвукове зварюванняradiation detector modulesflexible connecting elementsaluminum-polyimide lacquer foiled dielectricscarbon-fiber baseCOF-assembly technologyultrasonic weldingOther