Кувакін, А. В.2020-05-112020-05-112019Кувакін А. В. Використання сучасних тонкоплівкових технологій у відновлювальній енергетиці : атестаційна робота здобувача вищої освіти на другому (магістерському) рівні, спеціальність 171 Електроніка / А. В. Кувакін : М-во освіти і науки України, ХНУРЕ. – Харків, 2019. - 52 с.http://openarchive.nure.ua/handle/document/11655Проведено огляд технологій одержаний плівок аморфного кремнію та параметрів плівок, що вони забезпечують, проведено розрахунок оптимальної відстані мішень-підкладка для рівномірного нанесення плівок на підкладку. Отримані зразки плівок аморфного кремнію та проведення вимірювання оптичної прозорості зразків у спектральному діапазоні 400-900 нм. Розроблено конструкція вимірювальної оснастки для контролю фотоелектричних властивостей плівок. Проведено вимірювання темнового та світлового опору зразків плівок.ukаморфні плівкикремніймагнетронпоглинанняOther