Використання сучасних тонкоплівкових технологій у відновлювальній енергетиці - Кувакін, А. В. (My University, 2019)
Проведено огляд технологій одержаний плівок аморфного кремнію та параметрів плівок, що вони забезпечують, проведено розрахунок оптимальної відстані мішень-підкладка для рівномірного нанесення плівок на підкладку. Отримані зразки плівок аморфного кремнію та проведення вимірювання оптичної прозорості зразків у спектральному діапазоні 400-900 нм. Розроблено конструкція вимірювальної оснастки для контролю фотоелектричних властивостей плівок. Проведено вимірювання темнового та світлового опору зразків плівок.
Keywords: аморфні плівки; кремній; магнетрон; поглинання