Проектные решения повышения надежности кремниевых интегральных преобразователей механических величин - Невлюдов, И. Ш.; Омаров, М. А.; Харенко, К. Ю. (ХНУРЭ, 2006)
Рассматриваются проектные решения повышения надежности кремниевых интегральных преобразователей механических величин.
Keywords: кремниевый интегральный преобразователь; контрольно-измерительная система; надежность датчика