Невлюдов, И. Ш.Омаров, М. А.Харенко, К. Ю.2019-12-232019-12-232006Невлюдов И. Ш. Проектные решения повышения надежности кремниевых интегральных преобразователей механических величин / И. Ш. Невлюдов, М. А. Омаров, К. Ю. Харенко // Радиотехника : Всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Х. : ХНУРЭ, 2006. – Вып. 147. – С. 119–122.http://openarchive.nure.ua/handle/document/10482Рассматриваются проектные решения повышения надежности кремниевых интегральных преобразователей механических величин.ruкремниевый интегральный преобразовательконтрольно-измерительная системанадежность датчикаArticle