Филипенко, О. І.Чала, О. О.2018-11-292018-11-292018Филипенко, О. І. Методи контролю структур топології поверхонь матеріалів виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС / О. І. Филипенко, О. О. Чала, Ю. В. Бондаренко // Технология приборостроения. – 2018. – № 2. – С. 3–7.http://openarchive.nure.ua/handle/document/7427У статті розглядаються методи контролю якості поверхонь виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС для реалізації задачі технологічного забезпечення контролю якості та для подальшого удосконалення на етапі готової продукції. За проведеними дослідженнями обирається метод неруйнівного контролю якості, а саме інтерференційний метод контролю.ukконтроль якостіфункціональні поверхніелектронна технікаМЕМСМОЕМСінтерферометрArticle