Невлюдов, И. Ш.Бортникова, В. О.2016-07-292016-07-292014Невлюдов, И. Ш. Разработка графа классификации микроэлеткромеханических систем / И. Ш. Невлюдов, В. О. Бортникова // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 24-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2014), 7-13 сент. 2014 г. - Севастополь : Вебер, 2014. - Т. 2. - С. 746-747.http://openarchive.nure.ua/handle/document/1663Предложена классификация микроэлеткромеханических систем для решения задач автоматизации проектирования технологических процессов изготовления. Выделены основные пять групп: простые устройства, исполнительные механизмы, элементы сопряжения конструкций микроэлектромеханических систем, механизмы воздействия; преобразователи и генераторы. The classification of MEMS for solving the computer-aided design problems of manufacturing process is proposed. There are five basic groups: simple devices, actuators, MEMS design coupling elements, mechanisms of action; transducers and generators.ruклассификация микроэлеткромеханических системавтоматизация проектирования технологических процессов изготовленияисполнительные механизмыэлементы сопряжения конструкцийConference proceedings