Аналіз технології лазерного експонування друкованих плат - Невлюдов, І. Ш.; Разумов-Фризюк, Є. А.; Нікітін, Д. О. (Технология приборостроения. ‑ 2020, № 1. http://journal.nitip.com.ua/ru/issues/16/, 2020)
Метою роботи є проведення короткого аналізу лазерного експонування друкованих плат, розгляд основних етапів в фотолітографії, ознайомлення з конструкціями верстатів і типами лазерів для лазерного експонування. The aim of the work is to conduct a brief analysis of the laser exposure of printed circuit boards, consider the main stages in photolithography, familiarize yourself with the designs of machines and types of lasers for laser exposure.
Keywords: лазерне експонування; фото-маски; ультрафіолетові лампи; фотолітографія; типи лазерів; конструкції станків