Левченко, Є. О.Мажара, А. Є.Юрков, Д. В.2021-01-072021-01-072020Левченко Є. О. Дослідження технологій та методів обробки монокристалічних матеріалів / Є. О. Левченко, А. Є. Мажара, Д. В. Юрков // Автоматизація та приладобудування = Automation and Development of Electronic Devices (АDED'2020) [Електронний ресурс] : зб. студ. наук. ст. – Харків : ХНУРЕ, 2020. – Вип. 2. – С. 252-256.http://openarchive.nure.ua/handle/document/14076У статті розглянуто технології і методи, що впливають на якість шліфування та полірування монокристалічних матеріалів. Обробка та створення монокристалічних матеріалів з заданими технічними характеристиками у великій мірі залежить від технології їх формоутворення, тобто від шліфувальних паст, абразивних матеріалів, алмазних порошків. Матеріали після різання мають різні дефекти: неплощинність, непаралельність площин, вигин, глибокий порушений шар і великий розкид по товщині. Тому необхідна подальша обробка шліфуванням і поліруванням, які є важливими процесами для будь-якої технології формоутворення в мікроелектромеханічних, і взагалі електронних пристроях та компонентах.ukадгезіяемульсіїзернистістьмонокристалічні матеріалиметоди обробкиArticle