Розробка мікрорезонатору МЕМС - Золкін, Г. П. (My University, 2025)
Об’єкт дослідження – засоби проєктування мікро електромеханічних систем. Метод дослідження – аналітичний. Мета роботи – метою даної кваліфікаційної роботи є дослідження систем автоматизованого проєктування МЕМС, розробка мікро приводу із застосуванням САПР. Актуальність теми – розвиток систем автоматизованого проєктування мікросистем надає можливість спростити інтеграцію МЕМС в сучасну мікроелектроніку.
Keywords: МЕМС; проєктування мікросистем; мікрорезонатор