Бородин, Б. Г.Ананьин, В. В.2021-07-062021-07-062007Бородин Б. Г. Микрополосковые измерительные преобразователи для неразрушающей СВЧ диагностики материалов микроэлектронной техники / Б. Г. Бородин, В. В. Ананьин // Радиоэлектроника и информатика : науч.-техн. журн. – 2007. – Вып. 2. – С. 9–13.https://openarchive.nure.ua/handle/document/16916Описываются результаты исследований резонансных измерительных преобразователей на основе микрополосковых резонаторов, предназначенных для контроля таких параметров полупроводниковых и диэлектрических пластин, как удельное сопротивление, толщина и диэлектрическая проницаемость.ruрезонансный измерительный преобразовательрадиоэлектроникаArticle