Сусликов, В. А.2022-03-262022-03-262009Сусликов В. А. Исследование конструкторско-технологических решений по созданию упругих элементов кремниевых интегральных преобразователей давления / В. А. Сусликов // Радиоэлектроника и молодежь в ХХI веке : материалы 13-го Междунар. молодеж. форума, 30 марта–1 апреля 2009 г. – Харьков : ХНУРЭ, 2009. – Ч. 1. – С. 234–235.https://openarchive.nure.ua/handle/document/19968The calculation of the state of resilient element is in-process conducted. The construction of resilient element is developed and conducted topological electric measuring layout design.ruпреобразователь давлениясоздание упругих элементовИсследование конструкторско-технологических решений по созданию упругих элементов кремниевых интегральных преобразователей давленияConference proceedings