О возможности достижения пикометровой разрешающей способности при частотных измерения нано размеров - Мачехин, Ю. П.; Данелян, А. Г.; Гарибашвили, Д. И.; Канкия, Р. Р.; Мкртычан, С. А. (My University, 2010)
В лучших системах с применением лазерных интерферометров перемещений (ЛИП), которые созданы для метрологического обеспечения измерений длин в нанометровом диапазоне, обеспечиваются измерения малых длин в диапазоне (10-9310-6)м с разрешающей способностью порядка 0,030,02 нм. В то же время, повышение требований к точности измерений длины, а также интенсивное развитие средств измерений в области нанометрологии требует создания нового поколения эталонов и образцовых средств измерений, расширяющего диапазон измерений в область малых длин до 10-10м. Не рассматривая влияния внешних воздействий (механических вибраций, температуры окружающей среды, и др.), представляется, что одними из основных причин, которые не позволяют расширить диапазон измерений до 10-10м (при повышении разрешающей способности), являются ограничения, вносимые внутренними элементами системы интерферометра.
Keywords: единицы длины; наноразмерные измерения; частотные измерения