Гордиенко, Ю. Е.Полетаев, Д. А.Проказа, А. М.Слипченко, Н. И.2018-04-112018-04-112013Высоколокальный свч нагрев полупроводников и диэлектриков / Ю. Е. Гордиенко, Д. А. Полетаев, А. М. Проказа, Н. И. Слипченко // Прикладная радиоэлектроника : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 2013. – Т. 12, № 3 – С. 452–458.http://openarchive.nure.ua/handle/document/4739Предложены принципы осуществления высоколокального СВЧ нагрева полупроводниковых материалов с целью их сканирующего перелегирования, оксидирования, отжига и других термических модификаций, которые используются в микро- и нанотехнологиях. Показана возможность создания СВЧ ближнеполевого аппликатора на основе конусного коаксиального зонда. Проведены численные исследования пространственно-временного распределения температуры в области воздействия такого аппликатора в зависимости от электрофизических параметров полупроводникового материала и конструктива зонда.ruСВЧ модификациятепловыделениеконусный коаксиальный СВЧ зондArticle