Высоколокальный свч нагрев полупроводников и диэлектриков - Гордиенко, Ю. Е.; Полетаев, Д. А.; Проказа, А. М.; Слипченко, Н. И. (ХНУРЭ, 2013)
Предложены принципы осуществления высоколокального СВЧ нагрева полупроводниковых материалов с целью их сканирующего перелегирования, оксидирования, отжига и других термических модификаций, которые используются в микро- и нанотехнологиях. Показана возможность создания СВЧ ближнеполевого аппликатора на основе конусного коаксиального зонда. Проведены численные исследования пространственно-временного распределения температуры в области воздействия такого аппликатора в зависимости от электрофизических параметров полупроводникового материала и конструктива зонда.
Keywords: СВЧ модификация; тепловыделение; конусный коаксиальный СВЧ зонд