Слипченко, Н. И.Антонова, В. А.2021-11-202021-11-201998Слипченко Н. И. Математическое моделирование параметров диффузионных элементов интегральных схем / Н. И. Слипченко, В. А. Антонова // Радиотехника : всеукр. межвед. науч.–техн. сб. – 1998. – Вып. 105. – С. 158–165.https://openarchive.nure.ua/handle/document/18256Дано описание математических моделей процесса диффузии. Рассмотрены возможности гибкого управления концентрационным профилем легирующей примеси путем изменения режимов процесса. Результирующее изменение градиента концентрации в области р—≪-перехода обеспечивает возможности сознательного выбора режимов процесса з целях формирования электронных приборов и элементов ИС с требуемыми параметрами. Приведены алгоритмы, применяемые при моделировании диффузионных элементов ИСruрадиотехникаматематическая модель процесса диффузииArticle