Горожеєв, В. В.2021-01-262021-01-262019Горожеєв В. В. Огляд сучасних акселерометрів та їх сфери застосування / В. В. Горожеєв // Automation and Development of Electronic Devices (АDED'2019) : зб. студ. наук. ст. – Харків : ХНУРЕ, 2019. – Вип. 2. – С. 38-42.http://openarchive.nure.ua/handle/document/14158This work had done for review and analysis of current accelerometers and their scope of application. Overviewed MEMS technology, 3D-MEMS, CoM (Chip on MEMS) and CoB (Chip on Board) concepts, NEMS concept and scope of application of MEMSaccelerometers, also their perspective further development.ukМЕМС3D МЕМСCoMCoBNEMSчутливий елементвиди акселерометрівArticle