Невлюдов, І. Ш.Бортнікова, В. О.2018-11-292018-11-292018Невлюдов І. Ш. Методи автоматизованого проектування технологічних процесів виготовлення МЕМС акселерометрів / І. Ш. Невлюдов, В. О. Бортнікова // Технология приборостроения. – 2018. – № 2. – С. 8–10.http://openarchive.nure.ua/handle/document/7428У статті запропоновано методи автоматизованого проектування технологічних процесів виготовлення МЕМС акселерометрів. Розроблений метод вибору технологічного процесу покладено в основу методу автоматизованого проектування технологічних процесів, що дозволить підвищити ефективність проектних робіт.ukМЕМС акселерометриавтоматизація проектуваннятехнологічні процесиArticle