Білоус, М. Ю.Медова, К. Г.2021-01-262021-01-262020Білоус М. Ю. Огляд сучасних технологій нанопристроїв та мікросистемної техніки / М. Ю. Білоус, К. Г. Медова // Автоматизація та приладобудування = Automation and Development of Electronic Devices (АDED'2020) : зб. студ. наук. ст. – Харків : ХНУРЕ, 2020. – Вип. 1. – С. 178-181.http://openarchive.nure.ua/handle/document/14148The work deals with the technologies of nanodevices and microsystem technology. Specific examples and microsystem techniques are described. As a result of the inspection of modern technologies of nanodevices and Microsystem techniques, examples of existing nanodevices and techniques of nano-and microsystem techniques are considered, which will further improve one of the methods for obtaining MEMS products.ukнанопристроїмікросистемна технікананороботиArticle