Яритенко, В. О.2020-02-182020-02-182019Яритенко В. О. Моделювання технологічних процесів виготовлення МЕМС акселерометрів : пояснювальна записка до атестаційної роботи здобувача вищої освіти на другому (магістерському) рівні, спеціальність 151 – Автоматизація та комп'ютерно-інтегровані технології / В. О. Яритенко керівник роботи Безкоровайний В. В. ; М-во освіти і науки України, Харків. нац. ун-т радіоелектроніки, кафедра комп’ютерно-інтегрованих технологій, автоматизації та мехатроніки. – Харків, 2019. – 91 с.http://openarchive.nure.ua/handle/document/10788Об’єкт дослідження – технологічні процеси (ТП) виготовлення мікроелектромеханічних (МЕМС) акселерометрів. Предмет дослідження – характеристики ТП виготовлення МЕМС акселерометрів. Мета магістерської роботи – розробка засобів математичного та програмного забезпечення для моделювання ТП виготовлення МЕМС акселерометрів. Методи дослідження: проведення досліджень базується методах математичного та комп’ютерного моделювання – для проведення моделювання ТП виготовлення МЕМС акселерометрів; математичної логіки, теорії множин – для формалізації ТП виготовлення МЕМС акселерометрів; методах імітаційного моделювання – для розробки імітаційної моделі ТП виготовлення МЕМС акселерометрів. Результати: науковий – знайшла подальший розвиток імітаційна модель ТП виготовлення МЕМС акселерометрів; практичний – алгоритм та програмне забезпечення для розв’язання задачі моделювання ТП виготовлення МЕМС акселерометрів. Робота є складовою частиною завдань з проектування чи удосконалення технологічних виготовлення МЕМС акселерометрів. Область застосування – системи автоматизованого проектування ТП виготовлення МЕМС акселерометрів. Результати можуть бути використані на підприємствах і в організаціях, що займаються проектуванням ТП і виготовленням МЕМС акселерометрів.ukмемс акселерометрчутливий елементмоделюваннятехнологічний процессистема масового обслуговуванняструктурна схемаалгоритмq-схемамова gpssпрограмний засібOther