Гордиенко, Ю. Е.Ларкин, С. Ю.Щербак, Е. Л.Слипченко, Н. И.2016-05-302016-05-302014Кинетика локального СВЧ разогрева полупроводников и диэлектриков / Ю. Е. Гордиенко, С. Ю. Ларкин, Н. И. Слипченко, Е. Л. Щербак // Радиотехника : Всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Харьков, 2014. – Вып. 177. – С. 98 – 104.http://openarchive.nure.ua/handle/document/475В настоящее время практическое использование сверхвысокочастотного (СВЧ) диапазона электромагнитных колебаний сравнимо с оптическим. Однако только недавно стала развиваться область СВЧ техники, связанная с ближнеполевым взаимодействием СВЧ источника с объектами. Особо перспективными ее направлениями являются сканирующая микроволновая микроскопия (СММ) [1, 2] и СВЧ микротехнологии (СМТ). Последние еще только устанавливаются несмотря на известные достижения СВЧ нагрева крупноразмерных объектов.ruСВЧ техникаСВЧ микротехнологииСВЧ разогревArticle