Численное моделирование высоколокального СВЧ теплового воздействия в технологии модификации полупроводниковых тонкопленочных структур - Гордиенко, Ю. Е.; Пятайкина, М. И.; Ларкин, С. Ю.; Полищук, А. В.; Проказа, А. М.; Слипченко, Н. И. (ХНУРЭ, 2013)
Исследуются особенности применения микроволнового излучения как средства высоколокального нагрева, отжига и перелегирования полупроводниковых слоистых структур при помощи ближнеполевых СВЧ излучателей с микроразмерной апертурой. Предлагается вариант такого модификатора на основе конусного коаксиального волновода. Основное внимание уделяется локализации тепловыделения и специфике пространственно-временного распределения температуры в зависимости от электрических и тепловых параметров объектов исследования. Показывается, что при определенном соотношении параметров пленки и подложки возможно также осуществить геттерирование дефектов из подложки.
Keywords: высоколокальный СВЧ нагрев; СВЧ микроскопия