Кадубовський, Д. С.2021-06-182021-06-182020Кадубовський Д. С. Технологія оптичного позиціонування шлюзу завантаження підкладок : пояснювальна записка до атестаційної роботи здобувача вищої освіти на другому (магістерському) рівні, спеціальність 172 Телекомунікації та радіотехніка / Д. С. Кадубовський ; М-во освіти і науки України, Харків. нац. ун-т радіоелектроніки. – Харків, 2020. – 66 с.https://openarchive.nure.ua/handle/document/16569Удосконалено математичний метод оптичного позиціонування підкладок в завантажувальному шлюзі автоматичної системи фотолітографії. Розроблено алгоритм попередньї обробки зображення, що передбачає після фільтрації зображення поточної позиції підкладки оцінку координати центру кола підкладки проводити з використанням перетворення Хафа. Розроблено програмний модуль, що реалізує математичні методи аналізу результатів позиціонування оптичним методом контролю. Експериментальні дослідження показали працездатність методу. Недоліками розробленого методу є відсутність графічного інтерфейсу та відносно велике відхилення ± 340 мкм. Таке значення можливо зменшити за умови удосконалення системи кріплення камері, використання більш якісної ПЗС матриці.ukфотолітографіяпромисловий роботпозиціонуваннякварцева підкладкаперетворення ХафаOther