Невлюдов, И. Ш.Гурин, В. Н.Гурин, Д. В.2018-11-222018-11-222018Невлюдов И. Ш. Влияние параметров технологического процесса на электрофизические свойства диэлектрических пленок / И. Ш. Невлюдов, В. Н. Гурин, Д. В. Гурин // Фізичні процеси та поля технічних і біологічних об'єктів : матеріали ХVII Міжнар. наук.-техн. конф. , 2-4 листоп. 2018 р. – Кременчук : Кременчуц. нац. ун-т ім. М. Остроградського, 2018. – С. 139-141.http://openarchive.nure.ua/handle/document/7339Приводятся результаты экспериментальных исследований электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологичного процесса. Описаны основные факторы влияющие на свойства пленок, представлены графики зависимости от этих факторов.ruдиэлектрические пленкивольтамперные характеристикиэлектрические свойства пленоккатодное распылениеAbstract of Thesis