Лукин, К. А.Мачехин, Ю. П.Данаилов, М. Б.Татьянко, Д. Н.2019-05-152019-05-152011Измерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазоне / К. А. Лукин, Ю. П. Мачехин, М. Б. Данаилов, Д. Н. Татьянко. // Радиофика и электроника. – 2011. – №1. – С. 39–42.http://openarchive.nure.ua/handle/document/8673В работе приведена теоретическая модель спектральной интерференции в оптическом диапазоне и выполнена ее экспериментальной проверка. Показано, что в результате спектральной интерференции опорного и отраженного сигналов светодиода в интерферометре Майкельсона появляется периодическая модуляция его спектра. Изучены возможности применения этого эффекта для измерения микро расстояний с погрешностью не хуже 100 нм. Измерение положений экстремумов спектра позволит повысить точность измерения до значений, определяемых разрешающей способностью современных спектрометров.ruстабильность частотылазерArticle