Малик, Б. О.Гурін, Д. В.2018-11-292018-11-292018Малик Б.О. Анализ электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологического процесса / Б.О. Малик, Д.В. Гурин // Технология приборостроения. – 2018. – № 2. – с. 27–30.http://openarchive.nure.ua/handle/document/7437В статье приведен анализ электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологичного процесса. Описаны основные факторы влияющие на свойства пленок, представлены графики зависимости от этих факторов. Проведенный анализ позволяет определить оптимальные управляющие воздействия, для построение математической модели получения диэлектрических пленок.ruдиэлектрические пленкивольтамперные характеристикиэлектрические свойства пленокуправляющие воздействиякатодное распыление.Article