Вплив параметрів технологічних операцій шліфування та полірування на формоутворення компонентів MOEMS - Чала, О. О.; Филипенко, О. І.; Боцман, І. В. (ХНУРЕ, 2019)
У матеріалах приведено результати моделювання процесу формування функціональних поверхонь МОЕМС компонентів. Визначено значення та величину факторів, що безпосередньо впливають на процес формування.
Keywords: компоненти MOEMS; оптичний перемикач; мікро дзеркало; шліфування; полірування