Чала, О. О.Филипенко, О. І.Боцман, І. В.2019-10-252019-10-252019Чала О. О. Вплив параметрів технологічних операцій шліфування та полірування на формоутворення компонентів MOEMS / О. О. Чала, О. І. Филипенко, І. В. Боцман // Виробництво & Мехатронні Системи 2019 : матеріали III Міжнар. конф., 24-25 жовтня 2019 р. – Харків : ХНУРЕ, 2019. – С. 69 - 72.http://openarchive.nure.ua/handle/document/10043У матеріалах приведено результати моделювання процесу формування функціональних поверхонь МОЕМС компонентів. Визначено значення та величину факторів, що безпосередньо впливають на процес формування.ukкомпоненти MOEMSоптичний перемикачмікро дзеркалошліфуванняполіруванняThesis