Моделювання параметрів МЕМС-датчиків тиску - Гресько, С. Г. (My University, 2019)
Об’єкт дослідження – процес функціонування МЕМС ємнісних датчиків тиску. Предмет дослідження – параметри МЕМС датчиків тиску. Мета роботи – дослідження впливу технологічних параметрів етапів пакування МЕМС датчиків тиску на їх функціональні характеристики. У ході виконання атестаційної роботи магістра проведено аналіз імітаційного принципу функціонування МЕМС датчиків тиску. Проаналізовано існуючі типи МЕМС датчиків тиску, їх конструкції та особливості. Розроблено функціональну модель МЕМС ємнісного датчика тиску, параметричну та математичні моделі датчиків тиску з прямокутною та квадратною мембраною, а також з круглою мембраною. У середовищі Comsol Multiphysics 5.3 розроблено імітаційну модель МЕМС датчика тиску за аналогією існуючої моделі SCB10H та проведено дослідження залежності вихідних значень параметрів зміщення мембрани та її ємності від впливу температури, за якої виконується зварювання елементів корпусу датчика. Результати магістерської атестаційної роботи апробовані у збірнику студентських наукових статей «Технологія приладобудування» [1].
Keywords: МЕМС; датчик тиску; параметрична модель; функціональна модель; імітаціна модель; comsol multiphysics; термічне розширення