Гресько, С. Г.2020-03-202020-03-202019Гресько С. Г. Моделювання параметрів МЕМС-датчиків тиску : пояснювальна записка до атестаційної роботи здобувача вищої освіти на другому (магістерському) рівні, спеціальність 172 Телекомунікації та радіотехніка / С. Г. Гресько ; М-во освіти і науки України, Харків. нац. ун-т радіоелектроніки. – Харків, 2019. – 68 с.http://openarchive.nure.ua/handle/document/11150Об’єкт дослідження – процес функціонування МЕМС ємнісних датчиків тиску. Предмет дослідження – параметри МЕМС датчиків тиску. Мета роботи – дослідження впливу технологічних параметрів етапів пакування МЕМС датчиків тиску на їх функціональні характеристики. У ході виконання атестаційної роботи магістра проведено аналіз імітаційного принципу функціонування МЕМС датчиків тиску. Проаналізовано існуючі типи МЕМС датчиків тиску, їх конструкції та особливості. Розроблено функціональну модель МЕМС ємнісного датчика тиску, параметричну та математичні моделі датчиків тиску з прямокутною та квадратною мембраною, а також з круглою мембраною. У середовищі Comsol Multiphysics 5.3 розроблено імітаційну модель МЕМС датчика тиску за аналогією існуючої моделі SCB10H та проведено дослідження залежності вихідних значень параметрів зміщення мембрани та її ємності від впливу температури, за якої виконується зварювання елементів корпусу датчика. Результати магістерської атестаційної роботи апробовані у збірнику студентських наукових статей «Технологія приладобудування» [1].ukМЕМСдатчик тискупараметрична модельфункціональна модельматематична модельімітаціна модельcomsol multiphysicsтермічне розширенняOther