Невлюдов, И. Ш.Палагин, В. А.Богдан, Ю. И.2016-07-132016-07-132014Невлюдов, И. Ш. Влияние изменения линейных размеров на электрические параметры компонентов микроэлектромеханических систем / И. Ш. Невлюдов, В. А. Палагин, Ю. И. Богдан // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 24-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2014), 7-13 сент. 2014 г. - Севастополь : Вебер, 2014. - Т. 2. - С. 748-749.http://openarchive.nure.ua/handle/document/1497Теории подобия и размерностей физических величин (ТП и РФВ) содержат основные принципы для оценки изменения свойств МЭМС при уменьшении линейных размеров. Различные активные силы меняются по разным законам, эти силы перечислены. ТП и РФА могут использоваться для анализа и оценки изменения характеристик МЭМС. В докладе показаны некоторые основные тенденции микроминиатюризации. Similitude and dimension physical quantities theories (TS and DPQ) are basic principles for estimation of changing properties of MEMS with decreasing a linear scale. Different active forces changes with distinguish laws and these forces are enumerated. TS and DPQ can be used for analysis and estimation changing characteristics of MEMS. In the report some principle tendencies of miniaturization are shown.ruмикроэлектромеханические системымикросистемная техникаConference proceedings