Токарева, Е. В.Овчаренко, В. Е.Кононенко, Н. В.2018-04-182018-04-182015http://openarchive.nure.ua/handle/document/4803В статье рассмотрены перспективные направления развития микросистемной техники для различных сфер применения. У статті розглянуті перспективні напрями розвитку мікросистемної техніки для різних сфер застосування. The article describes. the promising areas of microsystems technology for various applications.ruмикросистемная техникасенсорыактюаторынанотехнологииминиатюризациямикроэлектромеханические системыArticle