Невлюдов, І. Ш.Палагін, В. А.Семенець, В. В.2018-05-172018-05-172011Невлюдов І. Ш. Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології / І. Ш. Невлюдов, В. А. Палагін, В. В. Семенець. – Харків: Компанія "СМІТ", 2011. – 416 с.978-966-2028-73-7http://openarchive.nure.ua/handle/document/5273Викладено принципи створення МЕМС та відомості про технології їх виробництва. Розглянуто масштабні та квантово-механічні ефекти, електромеханічні аналогії та матмоделі для проектування чутливих елементів датчиків.ukнанотехнологіїсенсорифотонні кристалинанороботикремнієві структуриBook