Алгоритм восстановления распределения по глубине электрофизических свойств полупроводников в микроволновой микроскопии - Гордиенко, Ю. Е.; Ларкин, С. Ю.; Мельник, С. И.; Слипченко, Н. И. (Вебер, 2012)
Рассмотрен алгоритм восстановления рас пределения по глубине электрических свойств полупроводниковых материалов в методе микроволнового сканирования учился. Для анализа полученных данных используется итерационный метод последовательных возмущений.
Keywords: полупроводниковые материалы; микроволновое сканирование; микроволновая сканирующая микроскопия; микроволновая сканирующая томография