Гордиенко, Ю. Е.Ларкин, С. Ю.Мельник, С. И.Слипченко, Н. И.2016-07-122016-07-122010Гордиенко, Ю. Е. Алгоритм восстановления распределения по глубине электрофизических свойств полупроводников в микроволновой микроскопии / Ю. Е. Гордиенко, С. Ю. Ларкин, С. И. Мельник, Н. И. Слипченко // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 22-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2012), 10-14 сент. 2012 г. - Севастополь : Вебер, 2012. - Т. 2. - С. 621-622.http://openarchive.nure.ua/handle/document/1475Рассмотрен алгоритм восстановления рас пределения по глубине электрических свойств полупроводниковых материалов в методе микроволнового сканирования учился. Для анализа полученных данных используется итерационный метод последовательных возмущений.ruполупроводниковые материалымикроволновое сканированиемикроволновая сканирующая микроскопиямикроволновая сканирующая томографияConference proceedings