Дослідження методів моделювання мікроелектромеханічних систем - Чернявський, О. В. (My University, 2025)
Мета роботи – розробка математичних моделей підсистем мікрооптоелектромеханічної системи на прикладі мікрооптоелектромеханічного акселерометра. Метод дослідження – аналітичний аналіз існуючих методів моделювання мікроелектромеханічних систем з подальшим обґрунтуванням конструкції підсистем мікрооптоелектромеханічної системи та проведення математичного моделювання, отримання вихідних параметрів. Отримані результати підтверджують актуальність розвитку даного напрямку й вказують на перспективність досліджень у цій області.
Keywords: мікрооптоелектромеханічна система; метод кінцевих елементів; інтернет речей