Чернявський, О. В.2025-02-242025-02-242025Чернявський О. В. Дослідження методів моделювання мікроелектромеханічних систем : пояснювальна записка до кваліфікаційної роботи здобувача вищої освіти на другому (магістерському) рівні, спеціальність 171 Електроніка / О. В. Чернявський ; М-во освіти і науки України, Харків. нац. ун-т радіоелектроніки. – Харків, 2025. – 40 с.https://openarchive.nure.ua/handle/document/29785Мета роботи – розробка математичних моделей підсистем мікрооптоелектромеханічної системи на прикладі мікрооптоелектромеханічного акселерометра. Метод дослідження – аналітичний аналіз існуючих методів моделювання мікроелектромеханічних систем з подальшим обґрунтуванням конструкції підсистем мікрооптоелектромеханічної системи та проведення математичного моделювання, отримання вихідних параметрів. Отримані результати підтверджують актуальність розвитку даного напрямку й вказують на перспективність досліджень у цій області.ukмікрооптоелектромеханічна системаметод кінцевих елементівінтернет речейOther