Загирняк, М. В.Оксанич, А. П.Петренко, В. Р.Притчин, С. Э.Тербан, В. А.2016-06-152016-06-152011Разработка математической модели и прогнозного регулятора для процесса выращивания монокристаллов полуизолирующего арсенид галлия / М. В. Загирняк, А. П. Оксанич, В. Р. Петренко и др. // АСУ и приборы автоматики : всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Х. : Изд-во ХНУРЭ, 2011. – Вып. 155. – С. 33–42.http://openarchive.nure.ua/handle/document/944На основе использования подхода Бокса-Дженкинса к синтезу моделей стохастических линейных динамических процессов разработана АRМАХ-модель процесса вытягивания монокристаллических слитков полуизолирующего арсенида галлия по технологии с жидкостной герметизацией, связывающая вариации температуры фонового нагревателя с вариациями диаметра слитка. Полученная модель применяется для синтеза оптимального прогнозного регулятора процесса выращивания на этапе вытягивания цилиндрической части слитка. Результаты моделирования работы регулятора подтверждают его работоспособность.ruподход Бокса-Дженкинсасинтез моделей стохастических линейных динамических процессовмонокристаллические слиткиArticle