Гордиенко, Ю. Е.Левченко, А. В.Щербань, И. Н.2019-02-282019-02-282018Ю.Е. Гордиенко Принципы физической расшифровки изображений в сканирующей микроволновой микроскопии / Гордиенко Ю.Е., Левченко А.В., Щербань И.М. // Журнал физики и инженерии поверхности, 2018, том 3, № 1, С. 17-23.http://openarchive.nure.ua/handle/document/7954В работе численно исследуются приёмы построения изображений в СММ, обеспечивающие визуализацию профилей распределения физических параметров объекта в приповерхностной области. Показано, что изображение фундаментальных сигналов изменения резонансной частоты и добротности резонаторного сканирующего зонда далеко не всегда соответствуют профилю указанных параметров. Для обеспечения такого соответствия предлагается реконструировать изображение этих сигналов на основе аналитической аппроксимации соответствующих характеристик преобразования зонда и формирования оптимального пакета сигналов. В частности, для построения изображений профиля электропроводности σ(x, y) следует использовать комбинированный сигнал вида ΔQ-1/Δf(x, y). Для двухпараметровой диагностики профиля ε(x, y) и профиля поверхности ΔhZ(x, y) целесообразно использовать два сигнала Δf1(x, y) и Δf2(x, y) при различных фиксированных значениях зазора hZ1 и hZ2 и аналитические аппроксимации соответствующих характеристик преобразования. Результаты исследования иллюстрируют демонстрацией профиля общего сигнала и восстановленным профилем физических величин.ruсканирующая микроволновая микроскопияхарактеристики преобразованияреконструкция изображениймногопараметровость диагоностикианалитическая аппроксимацияArticle