Гордиенко, Ю. Е.Слипченко, Н. И.Полетаев, Д. А.Проказа, А. М.Пятайкина, М. И.2016-07-132016-07-132014Закономерности СВЧ модификации полупроводниковых тонкопленочных структур / Ю. Е. Гордиенко и др. // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии : материалы 24-й Междунар. Крымской конф. (КрыМиКо'2014), 7-13 сент. 2014 г. - Севастополь : Вебер, 2014. - Т. 2. - С. 763-764.http://openarchive.nure.ua/handle/document/1505В работе исследуются особенности нагрева, отжига и перелегирования полупроводниковых слоистых структур при помощи СВЧ излучателей с микроразмерной апертурой. Предложен вариант такого модификатора на основе конусного коаксиального волновода. Основное внимание уделяется локализации тепловыделения и специфике пространственно- временного распределения температуры в зависимости от электрических и тепловых параметров объектов исследования. The present paper concerns heating, annealing and redoping of semiconductor layered structures using a microwave radiator with a micron-sized aperture. We proposed a variant of such a modifier that is based on a conical coaxial waveguide. The study is focused on localization of heat and specific spatiotemporal distribution of temperature depending on the electrical and thermal parameters of the objects under study.ruСВЧ модификаторыполупроводниковых тонкопленочных структурсканирующие зондовые технологииConference proceedings