Гурін, Д. В.Нікітін, Д. О.2024-02-252024-02-252022Нікітін Д. О. Моделювання математичної моделі отримання наноструктурованих діелектричних плівок / Д. В. Гурін, Д. О. Нікітін // Напівпровідникові матеріали, інформаційні технології та фотовольтаїка : тези доп. VIІ Міжнар. наук.-практ. конф. 2022. – Кременчук : Кременчуцький нац. ун-т ім. Михайла Остроградського, 2022. – С. 47-48.2222-4386https://openarchive.nure.ua/handle/document/25713Для розробки програмно-апаратного комплекса для керування технологічним процесом осадження наноструктурованих діелектричних плівок за допомогою технології напилення у магнетронній камері необхідно розробити систему керування устаткуванням. Задля виконання поставленої задачі необхідно використати розроблену математичну модель та розробити схему керування, що дозволить автоматизувати процес напилення наноструктурованих діелектричних плівок. Розроблена в SIMULINK модель дає можливість розробити систему управління осадженням на базі плат arduino duo та ruramps, що дозволить автоматизувати процес напилення наноструктурованих діелектричних плівок.ukкерування технологічним процесомнаноструктуровані діелектричні плівкинапиленняSIMULINKConference proceedings