Свидерская, Л. И.2021-09-162021-09-162000Свидерская Л. И. Метод контроля поверхностного сопротивления диффузионных полупроводниковых структур / Л. И. Свидерская // Радиотехника : Всеукр. межвед. науч.–техн. сб. – 2000. – Вып. 116. – С. 87–91.https://openarchive.nure.ua/handle/document/17575Проанализирована возможность определения поверхностного сопротивления диффузионных структур при помощи СВЧ резонаторного метода. Представлена возможность сформулировать двухпараметровый метод контроля диффузионных слоев. Также подробно рассмотрена методика двухпараметрового контроля.ruрадиотехникаСВЧ резонаторный методArticle