Исследование взаимодействия СВЧ-резонаторов с неоднородно легированными по толщине полупроводниковыми слоями - Гордиенко, Ю. Е.; Бородин, Б. Г.; Свидерская, Л. И. (Вища школа, 1987)
Рассмотрены вопросы исследования неоднородно легированных по глубине полупроводниковых структур на СВЧ с помощью Н012-цилиндрического резонатора. С использованием одномодового приближения и вариационного метода рассчитаны зависимости добротности резонатора и сигнала фотопроводимости на его выходе от уровня включения неоднородно легированного образца в поле резонатора и параметров профиля легирования. Построены градуировочные характеристики для двухпараметрового контроля диффузионных структур при известном законе распределения электропроводности по их глубине. Обоснованы методики измерения.
Keywords: радиотехника; резонатор