Гордиенко, Ю. Е.Бородин, Б. Г.Свидерская, Л. И.2023-02-142023-02-141987Гордиенко Ю. Е. Исследование взаимодействия СВЧ-резонаторов с неоднородно легированными по толщине полупроводниковыми слоями / Ю. Е. Гордиенко, Б. Г. Бородин, Л. И. Свидерская // Радиотехника : респ. межведомств. науч.-техн. сб. – 1987. – Вып. 83. – С. 31–37.https://openarchive.nure.ua/handle/document/21871Рассмотрены вопросы исследования неоднородно легированных по глубине полупроводниковых структур на СВЧ с помощью Н012-цилиндрического резонатора. С использованием одномодового приближения и вариационного метода рассчитаны зависимости добротности резонатора и сигнала фотопроводимости на его выходе от уровня включения неоднородно легированного образца в поле резонатора и параметров профиля легирования. Построены градуировочные характеристики для двухпараметрового контроля диффузионных структур при известном законе распределения электропроводности по их глубине. Обоснованы методики измерения.otherрадиотехникарезонаторArticle