Невлюдов, И. Ш.Новоселов, С. П.Резниченко, А. Г.2021-04-072021-04-072011Невлюдов И. Ш. Экспериментальная проверка теоретических основ, положенных в основу технологии автоматизированного контроля шероховатости поверхности подложки / И. Ш. Невлюдов, С. П. Новоселов, А. Г. Резниченко // Радиотехника : Всеукр. межвед. науч.–техн. сб. – 2011. – Вып. 164. – С. 155–162.https://openarchive.nure.ua/handle/document/15368В статье рассматриваются результаты экспериментальной проверки предложенного метода распознавания и восстановления интерференционного сигнала отраженного от функциональной поверхности подложки, выполненной моделированием на ПЭВМ.ruрадиотехникаинтерференционный сигналArticle