Демська, Н. П.Палагін, В. А.Омаров, Ш. А.2019-11-252019-11-252019Демська Н. П. Математичні моделі мікроелектромеханічних міжз’єднань / Н. П. Демська, В. А. Палагін, Ш. А. Омаров // Виробництво & Мехатронні системи (M&MS'2019) : матеріали II Міжнар. наук.-техн. конф. – Харків, 2019. –– С. 119–122.http://openarchive.nure.ua/handle/document/10301При створенні мікроелектромеханічних пристроїв необхідна розробка ефективних математичних моделей опису їх функціонування і напружено-деформованого стану рухомих частин при впливах різних сил і факторів зовнішнього середовища.ukмікроз’єднаннябагатошарова структурадеформаціяThesis