Методи побудови моделей сенсорних МЕМС-компонентів з використанням пакету Matlab/Simulink - Мошунов, Д. О. (My University, 2025)
В кваліфікаційній роботі проаналізовано сучасний стан розвитку МЕМС-пристроїв, розглянуто загальну структуру мікросистеми, використання МЕМС-акселерометрів у транспортних засобах. Розглянуто принцип роботи МЕМС-акселерометра та математичний опис механічної та електричної складових акселерометра. Розглянуто структуру акселерометра з ПІ- та ПІД-регулюванням, проаналізовано передавальні функції блок-схеми акселерометра з ПІД-регулятором та похідним ФНЧ. В роботі розглянуто етапи проєктування МЕМС-акселерометрів. Розроблено Simulink-модель сенсорного компонента акселерометра та її поведінкове моделювання в середовищі Matlab/Simulink. Створено Simulink модель акселерометра замкнутого контуру з одиничним зворотним зв’язком, яка містить ПІД-регулятор та ФНЧ, що використовується з метою подолання похибки перехідного процесу і забезпечення стабільності роботи у стаціонарному режимі, проведено моделювання як в часовій, так і у частотній областях з метою відстеження транспортного засобу.
Keywords: мікроелектромеханічна система; інерційний МЕМС сенсор; акселерометр