Застосування конвергенції для MEMS актюаторів - Гніденко, О. Ю.; Бадаєв, О. С. (ХНУРЕ, 2021)
Мікроелектромеханічні актюатори складаються з пристроїв різноманітної фізичної природи, таких як авіа-, гідро-, акусто-, механічна, опто-, електричні і т.д. та його особливих якостей. Конвергенція такого пристрою у єдине ціле являється основним принципом технології мікросистем. Гнучкість має істотне значення у мікродоменах та є базою для систем з розподіленими та зосередженими гнучкими елементами.
Keywords: мікроелектромеханічні актюатори; конвергенція; технологія мікросистем; мікромініатюризація