Гніденко, О. Ю.Бадаєв, О. С.2022-02-102022-02-102021Гніденко О. Ю. Застосування конвергенції для MEMS актюаторів / О. Ю. Гніденко,О. С. Бадаєв // Автоматизація та приладобудування = Automation and Development of Electronic Devices (АDED'2021) [Електронний ресурс]: зб. студ. наук. ст. / Харків. нац. ун-т радіоелектроніки ; [редкол.: І. Ш. Невлюдов та ін.]. – Х. : ХНУРЕ, 2021. – Вип. 2. – С. 147–150.https://openarchive.nure.ua/handle/document/19609Мікроелектромеханічні актюатори складаються з пристроїв різноманітної фізичної природи, таких як авіа-, гідро-, акусто-, механічна, опто-, електричні і т.д. та його особливих якостей. Конвергенція такого пристрою у єдине ціле являється основним принципом технології мікросистем. Гнучкість має істотне значення у мікродоменах та є базою для систем з розподіленими та зосередженими гнучкими елементами.ukмікроелектромеханічні актюаториконвергенціятехнологія мікросистеммікромініатюризаціяArticle