Оптимізація режимів нанесення фоторезисту - Письменецький, В. О.; Профатіло, О. С.; Райков, О. (ХНУРЕ, 2018)
В даному матеріалі було проведено двофакторний дисперсійний аналіз нанесення фоторезисту та дослідження його властивостей.
Keywords: фоторезист; дисперсійний аналіз