Слюсаренко, О. А.2020-05-042020-05-042019Слюсаренко О. А. Гібридні сигнали в локальній НВЧ діагностиці малорозмірних об'єктів на основі резонаторних зондів з коаксіальною апертурою: атестаційна робота здобувача вищої освіти на другому (магістерському) рівні, спеціальність 153 Мікро- та наносистемна техніка / О. А. Слюсаренко ; М-во освіти і науки України, ХНУРЕ. – Харків, 2019. - 67 с.http://openarchive.nure.ua/handle/document/11569Об’єкт дослідження — взаємодія електромагнітного поля зондових малорозмірних НВЧ вимірювачів з діелектричними та напівпровідниковими об'єктами. Мета роботи — аналіз впливу заважаючих факторів в локальній НВЧ діагностиці та формування сигналів, здатних значно зменшити їх внесок. Методи дослідження — дедуктивно-аналітичний аналіз процесів дослідження гібридних сигналів та їх моделювання. У роботі представлений огляд різних конструкцій зондів, використання АПЧ та отримання первинних сигналів в СММ. В результаті виконання роботи були побудовані гібридні сигнали на основі фундаментальних.ukскануюча мікрохвильова мікроскопіяНВЧ діагностикагібридний сигналапертураOther