Вихляєв, М. О.2020-05-122020-05-122019Вихляєв М. О. Дослідження дисперсійних характеристик поверхневих акустичних хвиль : атестаційна робота здобувача вищої освіти на другому (магістерському) рівні, спеціальність 153 Мікро- та наносистемна техніка / М. О. Вихляєв : М-во освіти і науки України, ХНУРЕ. – Харків, 2019. - 59 с.http://openarchive.nure.ua/handle/document/11680У атестаційній роботі розглядається дисперсійна лінія затримка на ПАХ. Розраховано параметри та геометрію лінії затримки. Обрано матеріал. Розроблено топологію лінії затримки та описано технологію її виготовлення.ukніобат літіюфотолітографіялінія затримкиакустичні хвиліOther