Мельник, С. И.Гордиенко, Ю. Е.2024-12-042024-12-042010Мельник С. И. Методика микроволновой сканирующей томографии электрофизических свойств полупроводников / С. И. Мельник, Ю. Е. Гордиенко // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии (КрыМиКо’2010) : материалы 20-ой Междунар. Крымская конф., 13-17 сентября 2010 г. – Севастополь : Вебер, 2010. – С. 721–722.https://openarchive.nure.ua/handle/document/29358Разработана методика микроволновой диагностики полупроводников с произвольным распределением электрофизических свойств по глубине. Предложено проводить сканирование по величине воздушного зазора между объемным резонаторным датчиком и поверхностью полупроводника. Разработан одномерный алгоритм реконструкции распределения электрофизических свойств полу проводника. Он сводится к решению интегрального уравнения для получения промежуточной функции, полностью характеризующей свойства объекта, и пошаговому алгоритму решения некорректной обратной задачи для нееotherмикроволновая диагностикадиагностика полупроводниковConference proceedings