Методика микроволновой сканирующей томографии электрофизических свойств полупроводников - Мельник, С. И.; Гордиенко, Ю. Е. (Вебер, 2010)
Разработана методика микроволновой диагностики полупроводников с произвольным распределением электрофизических свойств по глубине. Предложено проводить сканирование по величине воздушного зазора между объемным резонаторным датчиком и поверхностью полупроводника. Разработан одномерный алгоритм реконструкции распределения электрофизических свойств полу проводника. Он сводится к решению интегрального уравнения для получения промежуточной функции, полностью характеризующей свойства объекта, и пошаговому алгоритму решения некорректной обратной задачи для нее
Keywords: микроволновая диагностика; диагностика полупроводников