Публікація:
Оценивание неопределенности измерения масштабного коэффициента видеоизображения растрового электронного микроскопа

Завантаження...
Зображення мініатюри

Дата

2020

Назва журналу

ISSN журналу

Назва тома

Видавництво

ХНУРЕ

Дослідницькі проекти

Організаційні підрозділи

Видання журналу

Анотація

Для использования растровой электронной микроскопии в качестве средства измерительной техники необходимо производить его калибровку с помощью вещественных носителей размера – мер с программируемым нанорельефом поверхности. Представлена процедура оценивания неопределенности измерения масштабного коэффициента видеоизображения РЭМ, выполненная на основе метода эксцессов, включающая бюджет неопределенности, позволяющий автоматизировать процесс оценки неопределенности и повысить достоверность получаемых результатов.

Опис

Ключові слова

неопределенность измерений, электронный микроскоп

Бібліографічний опис

Неежмаков К. П. Оценивание неопределенности измерения масштабного коэффициента видеоизображения растрового электронного микроскопа / К. П. Неежмаков // // Метрологія, інформаційно-вимірювальні технології та системи (МІВТС-2020) : матеріали VII Міжнар. наук.-практ. конф., 18–19 лютого 2020 р. – Харків : ХНУРЕ, 2020. – С. 96.

DOI