Публікація: Разработка математической модели и прогнозного регулятора для процесса выращивания монокристаллов полуизолирующего арсенид галлия
Завантаження...
Дата
2011
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
ХНУРЭ
Анотація
На основе использования подхода Бокса-Дженкинса к синтезу моделей стохастических линейных динамических процессов разработана АRМАХ-модель процесса вытягивания монокристаллических слитков полуизолирующего арсенида галлия по технологии с жидкостной герметизацией, связывающая вариации температуры фонового нагревателя с вариациями диаметра слитка. Полученная модель применяется для синтеза оптимального прогнозного регулятора процесса выращивания на этапе вытягивания цилиндрической части слитка. Результаты моделирования работы регулятора подтверждают его работоспособность.
Опис
Ключові слова
подход Бокса-Дженкинса, синтез моделей стохастических линейных динамических процессов, монокристаллические слитки
Бібліографічний опис
Разработка математической модели и прогнозного регулятора для процесса выращивания монокристаллов полуизолирующего арсенид галлия / М. В. Загирняк, А. П. Оксанич, В. Р. Петренко и др. // АСУ и приборы автоматики : всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Х. : Изд-во ХНУРЭ, 2011. – Вып. 155. – С. 33–42.