Публікація: Методи контролю структур топології поверхонь матеріалів виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС
Завантаження...
Дата
2018
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Державне підприємство Науково-дослідний технологічний інститут приладобудування
Анотація
У статті розглядаються методи контролю якості поверхонь виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС для реалізації задачі технологічного забезпечення контролю якості та для подальшого удосконалення на етапі готової продукції. За проведеними дослідженнями обирається метод неруйнівного контролю якості, а саме інтерференційний метод контролю.
Опис
Ключові слова
контроль якості, функціональні поверхні, електронна техніка, МЕМС, МОЕМС, інтерферометр
Бібліографічний опис
Филипенко, О. І. Методи контролю структур топології поверхонь матеріалів виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС / О. І. Филипенко, О. О. Чала, Ю. В. Бондаренко // Технология приборостроения. – 2018. – № 2. – С. 3–7.